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# Urheber Titel Jahr Bestand
1
Wasa, Kiyotaka [Hrsg.] Handbook of sputter deposition technology / ed. by Kiyotaka Wasa .... - 2. ed.. - (Materials science/engineering) 



2012 
     
2

Handbook of Sputter Deposition Technology (Second Edition) [Online-Ressource]

URL: https://www.sciencedirect.com/science/book/9781437734836

 2012 
     
3
Adachi, Hideaki Handbook of sputter deposition technology [Online-Ressource] / Hideaki Adachi...[et al.]; edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera. - 2nd ed

URL: https://www.sciencedirect.com/science/book/9781437734836 ; Hinw.: Verlag
URL: http://www.sciencedirect.com/science/book/9781437734836 ; Hinw.: Verlag

 2012 
     


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