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1
Huff, Michael [Verfasser] Process Variations in Microsystems Manufacturing [Online-Ressource] / by Michael Huff. - 1st ed. 2020. - (Microsystems and Nanosystems) 

URL: https://doi.org/10.1007/978-3-030-40560-1 ; Hinw.: Resolving-System

 2020 
     


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