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# Urheber Titel Jahr Bestand
1

Handbook of VLSI Microlithography (Second Edition) [Online-Ressource]

URL: https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514442

 2008 
     
2
Helbert, John N. Handbook of VLSI microlithography / ed. by John N. Helbert. - 2. ed.. - (Materials science and processing technology series) 



2001 
     


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