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1
Babu, Suryadevara, 1947- [Herausgeber] Advances in chemical mechanical planarization (CMP) [Online-Ressource] / edited by Suryadevara Babu. - (Woodhead publishing series in electronic and optical materials ; Number 86) 

URL: https://doi.org/10.1016/C2014-0-01445-1 ; Hinw.: Resolving-System
URL: https://www.sciencedirect.com/science/book/9780081001653 ; Hinw.: Aggregator

 2016 
     


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